Diplomarbeit aus dem Jahr 1999 im Fachbereich Ingenieurwissenschaften - Maschinenbau, Note: 3, Universität Hamburg, Sprache: Deutsch, Abstract: In der heutigen Zeit werden in immer mehr Geräten Halbleiterbauelemente eingesetzt. Unter der Zielsetzung, möglichst viele Strukturen auf einer Fläche unterzubringen, haben sich Ätztechniken zu einem der wichtigsten Werkzeuge bei der Herstellung von Halbleiter-Mikrostrukturen entwickelt. Jede Weiterentwicklung der Ätztechnik erlaubt die genauere Kontrolle der Ätzrate, der Selektivität, der Flankensteilheit, der immer besseren Reproduzierbarkeit des Ätzvorganges und dergleichen mehr. Jede Ätztechnik schädigt aber auch den zu ätzenden Halbleiterkristall. So ist die Auswahl einer Ätztechnik ein Abwägen der Vorteile und Nachteile. Dabei zeigt sich, daß trotz der mehr als fünfzigjährigen Forschung über Halbleiter bzw. Halbleiterbauelemente auch heute noch neue Erkentnisse in diesem Bereich gewonnen werden. Ebenso müssen die vorhandenen physikalischen Modelle für die neuen Anforderungen und Techniken angepaßt oder erweitert werden. Mit der zunehmenden Nutzung der in den siebziger Jahren entwickelten epitaktischen Herstellungsverfahren für Halbleiter, wieder Molekularstrahlepitaxie (MBE) und der Metall-Organischen Gasphasenepitaxie (MOCVD), ist es heute möglich, Halbleiter-Heterostrukturen aus dem Gallium-Arsenid / Aluminium-Gallium-Arsenid-Materialsystem herzustellen. Solche Strukturen finden heute ihren Nutzen in der Herstellung von schnellen Bauteilen, wie sie in der Nachrichten- und Optoelektronik verwendet werden. Diese Diplomarbeit im Rahmen eines BMBF-Projektes am Mikrostrukturzentrum der Universität Hamburg untersucht die durch einen CAIBE-Prozeß verursachte Schädigung eines GaAs-Halbleiters. Ziel ist es die Art und Tiefe der Schäden in Abhängigkeit von verschiedenen Parametern des CAIBE-Prozesses zu untersuchen.
Kaufen Sie hier:
Horizontale Tabs
Weitere E-Books zum Thema: Maschinenbau - Elektrotechnik - Fertigungstechnik
Parametrische 3D-CAD-Programme sind heute das zentrale Werkzeug im Entwicklungs- und Konstruktionsprozess. Das CAD-System Pro/ENGINEER hat in der Industrie weite Verbreitung gefunden. Die neue…
Parametrische 3D-CAD-Programme sind heute das zentrale Werkzeug im Entwicklungs- und Konstruktionsprozess. Das CAD-System Pro/ENGINEER hat in der Industrie weite Verbreitung gefunden. Die neue…
Die Simulations- bzw. CAE-Technik gilt als eine der Schlüsseltechnologien der Gegenwart. Mit ihr lassen sich wichtige Eigenschaften späterer Produkte ohne aufwändige und…
Dieses Buch beschreibt die Integration des Qualitätsgedankens in die Produktentwicklung. Ausgehend von der Analyse des Kundenwunsches unterscheidet der Autor Begeisterungsqualität, Attributqualität…
Dieses Buch beschreibt die Integration des Qualitätsgedankens in die Produktentwicklung. Ausgehend von der Analyse des Kundenwunsches unterscheidet der Autor Begeisterungsqualität, Attributqualität…
In diesem international anerkannten Standardwerk werden das Fahrverhalten und die Fahrwerktechnik ausgeführter Pkw und Nkw, die Funktionen der einzelnen Fahrwerksysteme und die Merkmale von…
Dieses Lehr- und Praxisbuch soll den Einstieg in das 3D-System Solid Edge und den zugehörigen Konstruktionsprozess erleichtern. Gleichzeitig kann es als Nachschlagewerk und als Anregung für die 3D-…
Dieses Lehr- und Praxisbuch soll den Einstieg in das 3D-System Solid Edge und den zugehörigen Konstruktionsprozess erleichtern. Gleichzeitig kann es als Nachschlagewerk und als Anregung für die 3D-…
Fahrerassistenzsysteme unterstützen den Fahrer in seiner Fahraufgabe und entlasten ihn dadurch gezielt. Viele Experten erwarten, dass Fahrerassistenzsysteme zur Sicherheit des Straßenverkehrs…
Fahrerassistenzsysteme unterstützen den Fahrer in seiner Fahraufgabe und entlasten ihn dadurch gezielt. Viele Experten erwarten, dass Fahrerassistenzsysteme zur Sicherheit des Straßenverkehrs…
Die herstellerunabhängige Fachzeitschrift wendet sich an alle Anwender und Entscheider, die mit Softwarelösungen von Autodesk arbeiten. Das Magazin gibt praktische ...
Die Zeitschrift "Beiträge zur Geschichte der Arbeiterbewegung" erscheint seit 1968. Zuerst in der DDR, dort gegründet, nach 1989 dann bei verschiedenen Verlagen. Seit 1998 erscheint die Zeitschrift ...
Card-Forum ist das marktführende Magazin im Themenbereich der kartengestützten Systeme für Zahlung und Identifikation, Telekommunikation und Kundenbindung sowie der damit verwandten und ...
SPORT in BW (Württemberg) ist das offizielle Verbandsorgan des Württembergischen Landessportbund e.V. (WLSB) und Informationsmagazin für alle im Sport organisierten Mitglieder in Württemberg. ...
Prüfungs- und Praxiswissen für Großhandelskaufleute
Mehr Erfolg in der Ausbildung, sicher in alle Prüfungen gehen, im Beruf jeden Tag überzeugen: „Die Großhandelskaufleute“ ist die ...
Behandlung versicherungsrelevanter Themen. Erfahren Sie mehr über den DVS. Der DVS Deutscher Versicherungs-Schutzverband e.V, Bonn, ist der Interessenvertreter der versicherungsnehmenden Wirtschaft. ...
UL-Technik, UL-Flugbetrieb, Luftrecht, Reiseberichte, Verbandsinte.
Der Deutsche Ultraleichtflugverband e. V. - oder kurz DULV - wurde 1982 von ein paar Enthusiasten gegründet. Wegen der hohen ...
e-commerce magazin
Die Redaktion des e-commerce magazin versteht sich als Mittler zwischen Anbietern und Markt und berichtet unabhängig, kompetent und kritisch über ...
VideoMarkt – besser unterhalten. VideoMarkt deckt die gesamte Videobranche ab: Videoverkauf, Videoverleih und digitale Distribution. Das komplette Serviceangebot von VideoMarkt unterstützt die ...
Studienführer der Fachhochschule Regensburg. Erscheint einmal jährlich.
Unsere Aufgabe: Anwendungsorientierte Ausbildung, angewandte Forschung und praxisnahe Weiterbildung
Die Hochschule ...