Sie sind hier
E-Book

Methoden zur Defektreduzierung in optoelektronischen Ga1-xInXN-Bauelementen - Epitaxie und Charakterisierung

AutorStephan Erich Miller
VerlagCuvillier Verlag
Erscheinungsjahr2006
Seitenanzahl178 Seiten
ISBN9783736919259
FormatPDF
KopierschutzWasserzeichen
GerätePC/MAC/eReader/Tablet
Preis18,90 EUR
Die Gruppe III-Nitride mit ihren Vertretern GaN, AlN und InN bilden heute die Basis für ein weites Feld von technischen Anwendungen im optoelektronischen Bereich. Die bedeu¬ten¬dsten Beispiele darunter sind GaN-basierte blaue und grüne lichtemittierende Dioden (kurz LEDs) sowie blaue Laserdioden. Die Einsatzmöglichkeiten dieser Lichtemitter sind vielfältig: Blaue und grüne LEDs kommen beispielsweise in der Beleuchtung vollfarb¬tauglicher Displays oder im Automobilbereich zur Anwendung. Blaue Laserdioden sind im Bereich optischer Datenträger mit hoher Speicherdichte von wesentlicher Bedeutung. Da es zum gegenwärtigen Zeitpunkt noch nicht möglich ist, GaN-Substrate in ausreichender Qualität und Größe herzustellen, muss bei der Epitaxie dieser Bauelemente auf Fremd¬substrate wie SiC und Saphir zurückgegriffen werden. Die Verwendung von Fremdsubstraten führt aufgrund der unter¬schiedlichen Gitterkonstanten zu einer hohen Versetzungsdichte, die sich negativ auf die Qualität von elektronischen Bauelementen auswirken kann. In dieser Arbeit wurden verschiedene Methoden zur Reduzierung der Versetzungsdichte mittels MOVPE (engl. MOVPE: Metalorganic Vapor Phase Epitaxy) in heteroepitaktischen GaN-Schichten auf 6H-SiC- und Al2O3-Substraten untersucht, und der Ein¬fluss der Ver¬setzungsdichte auf optoelektronische Ga1-xInxN-Bauelemente im Detail studiert.. Ein Ansatz zur Versetzungsreduzierung umfasst verschiedene in situ Massnahmen (in situ SiN-Zwischenschichten, GaN-Renukleations- und Pufferschichten), die während des GaN-Wachstums¬prozesses im Epi¬taxie¬reaktor durchgeführt werden können, und sowohl auf SiC- als auch auf Al2O3-Substraten angewandt wurden. Als ein weiterer Ansatz wurde das ELOG-Verfahren (engl.: Epitaxial Lateral OverGrowth) untersucht. Dieses auf Al2O3 bereits sehr erfolg¬reich ange¬wandte ex situ Verfahren wurde im Rahmen dieser Arbeit auf 6H-SiC-Substrate übertragen. Ein wesentliches Ziel der Versetzungsreduzierung bestand in der Verbesserung der Eigen¬schaften von LEDs. Dazu wurden Untersuchungen zum Einfluss der Versetzungsdichte auf die Quanteneffizienzen in Abhängigkeit der Emissionswellenlänge und der injizierten Betriebsstromes durchgeführt. Mit Hilfe von TEM- und DALI-Auswertungen (DALI: Digital Analysis of Lattice Images) wurde die Indiumverteilung in der optisch aktiven Ga1-xInxN-Zone von LEDs bei verschiedenen Emissionswellenlängen untersucht. Mit Hilfe theoretischer Simulationen basierend auf diesen Daten konnte eine quantitative Bestimmung der Exziton-Lokalisierungsenergie in den Indium-Fluktuationen der optisch aktiven Quantenfilme erfolgen, und ein quantitativer Zusammenhang zwischen der Exziton-Lokalisierungsenergie und dem Einfluss der Versetzungen auf die Quanteneffizienz der LEDs in Abhängigkeit der Emissionswellenlänge gezeigt werden.

Kaufen Sie hier:

Horizontale Tabs

Weitere E-Books zum Thema: Physik - Biophysik - Bionik

Grenzschicht-Theorie

E-Book Grenzschicht-Theorie
Format: PDF

Die Überarbeitung für die 10. deutschsprachige Auflage von Hermann Schlichtings Standardwerk wurde wiederum von Klaus Gersten geleitet, der schon die umfassende Neuformulierung der 9. Auflage…

Grenzschicht-Theorie

E-Book Grenzschicht-Theorie
Format: PDF

Die Überarbeitung für die 10. deutschsprachige Auflage von Hermann Schlichtings Standardwerk wurde wiederum von Klaus Gersten geleitet, der schon die umfassende Neuformulierung der 9. Auflage…

Grenzschicht-Theorie

E-Book Grenzschicht-Theorie
Format: PDF

Die Überarbeitung für die 10. deutschsprachige Auflage von Hermann Schlichtings Standardwerk wurde wiederum von Klaus Gersten geleitet, der schon die umfassende Neuformulierung der 9. Auflage…

Grenzschicht-Theorie

E-Book Grenzschicht-Theorie
Format: PDF

Die Überarbeitung für die 10. deutschsprachige Auflage von Hermann Schlichtings Standardwerk wurde wiederum von Klaus Gersten geleitet, der schon die umfassende Neuformulierung der 9. Auflage…

Strömungsmesstechnik

E-Book Strömungsmesstechnik
Format: PDF

Das Buch bietet einen komprimierten Überblick über die etablierten Strömungsmesstechniken einschließlich der neuen Entwicklungen auf dem Gebiet der bildgebenden Messverfahren. Im Vordergrund stehen…

Strömungsmesstechnik

E-Book Strömungsmesstechnik
Format: PDF

Das Buch bietet einen komprimierten Überblick über die etablierten Strömungsmesstechniken einschließlich der neuen Entwicklungen auf dem Gebiet der bildgebenden Messverfahren. Im Vordergrund stehen…

Weitere Zeitschriften

Atalanta

Atalanta

Atalanta ist die Zeitschrift der Deutschen Forschungszentrale für Schmetterlingswanderung. Im Atalanta-Magazin werden Themen behandelt wie Wanderfalterforschung, Systematik, Taxonomie und Ökologie. ...

FREIE WERKSTATT

FREIE WERKSTATT

Die Fachzeitschrift FREIE WERKSTATT berichtet seit der ersten Ausgaben 1994 über die Entwicklungen des Independent Aftermarkets (IAM). Hauptzielgruppe sind Inhaberinnen und Inhaber, Kfz-Meisterinnen ...

BIELEFELD GEHT AUS

BIELEFELD GEHT AUS

Freizeit- und Gastronomieführer mit umfangreichem Serviceteil, mehr als 700 Tipps und Adressen für Tag- und Nachtschwärmer Bielefeld genießen Westfälisch und weltoffen – das zeichnet nicht ...

IT-BUSINESS

IT-BUSINESS

IT-BUSINESS ist seit mehr als 25 Jahren die Fachzeitschrift für den IT-Markt Sie liefert 2-wöchentlich fundiert recherchierte Themen, praxisbezogene Fallstudien, aktuelle Hintergrundberichte aus ...

Evangelische Theologie

Evangelische Theologie

Über »Evangelische Theologie« In interdisziplinären Themenheften gibt die Evangelische Theologie entscheidende Impulse, die komplexe Einheit der Theologie wahrzunehmen. Neben den Themenheften ...