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E-Book

Nanostrukturierte Aluminiumfluoridschichten

Über das neuartige Niedertemperatur Sol-Gel Verfahren und die charakteristischen Eigenschaften

AutorIngo Buchem
Verlagdisserta Verlag
Erscheinungsjahr2010
Seitenanzahl143 Seiten
ISBN9783942109475
FormatPDF
Kopierschutzkein Kopierschutz/DRM
GerätePC/MAC/eReader/Tablet
Preis54,99 EUR
Im Rahmen dieser Arbeit wurde ein Niedertemperatur Sol-Gel Verfahren zur Beschichtung von Silizium und Edelstahl mit Aluminiumhydroxidfluoriden und reinen Aluminiumfluoriden entwickelt. Diese Schichten wurden auf ihre Verwendbarkeit in der Katalyse, aber auch auf ihre optischen Eigenschaften hin untersucht.
Die mit Hilfe eines neuartigen fluorolytischen Sol-Gel Verfahrens und mit der spin und dip coating Technik hergestellten Schichten auf Silizium und Edelstahl wurden mit der Rasterkraftmikroskopie auf ihre morphologische Struktur, mit der Photoelektronenspektroskopie auf ihre chemische Zusammensetzung und mit der Ellipsometrie auf ihre optischen Eigenschaften und die Schichtdicke untersucht.
Die Schichten wurden auf ihre katalytischen Eigenschaften in der Dismutierungsreaktion von R22 hin untersucht. Hierbei wurde die Photoelektronenspektroskopie eingesetzt, um Veränderungen in der Zusammensetzung zu dokumentieren. Das Verhältnis zwischen dem Edukt und den Produkten und damit die Aktivität der Schichten wurde mit Hilfe der Gaschromatographie bestimmt. Es musste zusätzlich eine in situ Kammer für die Katalyseexperimente in Kombination mit der Photoelektronenspektroskopie konzipiert und angefertigt werden, da die katalytisch aktive Spezies luft- und feuchtigkeitsempfindlich sein könnte. Die katalytische Aktivität der Aluminiumhydroxidfluoride und der Schichten sind dabei vergleichbar. HS-AlF3 besitzt erwartungsgemäß eine höhere katalytische Aktivität.
Um eine qualitative Aussage über die Lage sowohl der Bindungsenergie der Photoelektronen als auch der kinetischen Energie der Augerelektronen und dem daraus resultierenden modifizierten Augerparameter a' treffen zu können, wurde eine umfangreiche Referenzsubstanzdatenbibliothek angefertigt. Mit Hilfe des Wagnerplots konnte gezeigt werden, dass egal welche Precursoren mit R22 nachfluoriert wurden, ein den reinen Aluminiumfluoridphasen sehr ähnliches Produkt entsteht.
Die auf Siliziumsubstrat abgeschiedenen Schichten konnten sowohl vor als auch nach der Nachfluorierung mit der Photoelektronenspektroskopie und ellipsometrisch untersucht werden. Hierbei konnte gezeigt werden, dass die Nachbehandlung der Schichten mit R22 bei 300 °C zerstörungsfrei möglich ist.

Ingo Buchem wurde 1979 in Hamburg geboren. Nachdem er die Schule 1999 mit dem Abitur und den Zivildienst 2000 beendet hatte, zog er im selben Jahr nach Berlin. Dort studierte er Chemie an der Humboldt Universität zu Berlin. Das Studium beendete er Ende 2005 mit einer Diplomarbeit im Arbeitskreis von Prof. Dr. A. C. Filippou im Bereich der metallorganischen Chemie. Hierbei konnten neuartige und bis dato unbekannte Lithiumamid- und homoleptische Germaniumamid-Verbindungen synthetisiert und charakterisiert werden. Anfang 2006 promovierte er anschließend im Arbeitskreis von Prof. Dr. E. Kemnitz zu Themen im Bereich der heterogenen Katalyse, Kolloidchemie, Beschichtungsverfahren und Oberflächenanalytik. Die Promotion wurde Ende April 2010 erfolgreich mit der Disputation abgeschlossen. Zur Zeit lebt Ingo Buchem in Berlin.

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Blick ins Buch
Inhaltsverzeichnis
Nanostrukturierte Aluminiumfluoridschichten1
Abstract5
Zusammenfassung6
Inhaltsverzeichnis8
Abbildungsverzeichnis10
Tabellenverzeichnis14
Kapitel 1 Einleitung17
Kapitel 2 Motivation und Zielstellung19
Kapitel 3 Literaturüberblick und theoretische Vorbetrachtungen23
3.1 Sol-Gel Chemie23
3.2 Aluminium als Zentralatom in unterschiedlichen Schichtsystemen28
3.3 Beschichtungsroutinen31
3.3.1 Spin coating31
3.3.2 Dip coating33
3.4 Photoelektronenspektroskopie (XPS)35
Kapitel 4 Ergebnisse und Diskussion41
4.1 Vergleichssubstanzen41
4.1.1 Aluminiumfluoride43
4.1.2 Aluminiumhydroxidfluoride53
4.1.3 Aluminiumchloridfluorid (ACF)59
4.1.4 Vergleich der Pulverproben63
4.2 Oberflächeneigenschaften der Substrate67
4.2.1 Bestimmung von OH-Gruppen-Konzentration70
4.2.2 Kontaktwinkelmessungen zur Bestimmung der Oberflächenenergie71
4.2.3 Morphologische Untersuchungen74
4.3 Schichtsysteme75
4.3.1 Substrat: Aluminiumoxid76
4.3.2 Substrat: Edelstahl78
4.3.3 Substrat: Silizium80
4.4 Aktivierung/Nachfluorierung87
4.4.1 Pulverproben88
4.4.2 Schichtsysteme94
4.5 Vergleich der aktivierten Proben95
Kapitel 5 Zusammenfassung99
Anhang101
Literaturverzeichnis127
Danksagung141

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