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E-Book

Quantenfilm-Pumpen zur Leistungsskalierung von Halbleiter-Scheibenlasern

AutorSvent-Simon Beyertt
VerlagHerbert Utz Verlag
Erscheinungsjahr2011
Seitenanzahl128 Seiten
ISBN9783831640515
FormatPDF
KopierschutzDRM
GerätePC/MAC/eReader/Tablet
Preis27,99 EUR
Das Strahlwerkzeug Laser gewinnt zunehmende Bedeutung für die industrielle Fertigung. Einhergehend mit seiner Akzeptanz und Verbreitung wachsen die Anforderungen bezüglich Effizienz und Qualität an die Geräte selbst wie auch an die Bearbeitungsprozesse. Gleichzeitig werden immer neue Anwendungsfelder erschlossen. In diesem Zusammenhang auftretende wissenschaftliche und technische Problemstellungen können nur in partnerschaftlicher Zusammenarbeit zwischen Industrie und Forschungsinstituten bewältigt werden. Das 1986 gegründete Institut für Strahlwerkzeuge der Universität Stuttgart (IFSW) beschäftigt sich unter verschiedenen Aspekten und in vielfältiger Form mit dem Laser als einem Werkzeug. Wesentliche Schwerpunkte bilden die Weiterentwicklung von Strahlquellen, optischen Elementen zur Strahlführung und Strahlformung, Komponenten zur Prozessdurchführung und die Optimierung der Bearbeitungsverfahren. Die Arbeiten umfassen den Bereich von physikalischen Grundlagen über anwendungsorientierte Aufgabenstellungen bis hin zu praxisnaher Auftragsforschung. Die Buchreihe „Laser in der Materialbearbeitung – Forschungsberichte des IFSW“ soll einen in der Industrie wie in Forschungsinstituten tätigen Interessentenkreis über abgeschlossene Forschungsarbeiten, Themenschwerpunkte und Dissertationen informieren. Studenten soll die Möglichkeit der Wissensvertiefung gegeben werden.

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Leseprobe
5 Experimenteller Vergleich Quantenfilm- und Absorber-Pumpen (S. 58-59)

In diesem Kapitel werden die Ergebnisse vorgestellt, die mit Proben gewonnen wurden, die sich gleichermaßen für das Absorber-Pumpen wie für das Quantenfilm- Pumpen eignen. Durch den direkten Vergleich der Eigenschaften ein und derselben Probe unter Absorber- bzw. Quantenfilm-Pumpen soll überprüft werden, ob eine effiziente Absorption der Pumpstrahlung auch beim Quantenfilm-Pumpen möglich ist, ob Quantenfilm-Pumpen zu einer messbaren Verringerung der Temperatur der aktiven Zone führt und dadurch die Ausgangsleistung eines Halbleiter-Scheibenlasers im Vergleich zum absorbergepumpten Fall erhöht werden kann.

Im anschließenden Kapitel werden dann die Ergebnisse vorgestellt, die mit einer Probe gewonnen wurden, welche in einem ersten Schritt für das Quantenfilm-Pumpen optimiert wurde und sich nicht mehr konventionell Absorber pumpen lässt, da nur ein geringer Anteil der Pumpstrahlung in der aktiven Zone absorbiert wird, während der restliche Anteil im Bragg-Spiegel absorbiert wird. Für die Versuche zur resonanten Absorption sowie zur Temperaturreduktion wurde ein durchstimmbarer Titan:Saphir-Laser (Ti:Sa) verwendet (Coherent, LC-899). Dieser konnte im Falle des Quantenfilm-Pumpens exakt auf die Resonanzen der Proben sowie im Falle des Absorber-Pumpens auf Wellenlängen bis unter 800 nm abgestimmt werden.

Da dies unter Einsatz eines einzigen Spiegelsatzes im Ti:Sa-Laser geschehen konnte, war es möglich, unter identischen Bedingungen Quantenfilm- und Absorber- Pumpen miteinander zu vergleichen. Für die Experimente mit größerer Pumpleistung wurden fasergekoppelte Diodenlaser verwendet. Da diese in ihrer Emissionswellenlänge nur geringfügig abstimmbar sind, war es nicht möglich, für das Quantenfilm-Pumpen geeignete Stellen der Wafer zu selektieren, bei denen resonant gepumpt werden konnte. Um die daraus resultierende geringe Absorption im Einfachdurchgang zu umgehen, wurde eine Multipass-Pumpoptik eingesetzt, welche es erlaubte, die Pumpstrahlung 12-mal auf die Probe abzubilden.

5.1 Absorptionsverhalten


Damit das Quantenfilm-Pumpen wirtschaftlich sinnvoll eingesetzt werden kann, muss der erreichbare Absorptionsgrad der Pumpstrahlung vergleichbar zu der mittels der konventionellen Methode des Absorber-Pumpens erreichbaren sein. Die Gesamtabsorption einer unbeschichteten quantenfilmgepumpten Probe sollte daher 70 % überschreiten. Zur prinzipiellen Demonstration des resonanten Pumpens werden im Folgenden die Ergebnisse einer sowohl für Absorber- als auch für QuantenfilmPumpen geeigneten, herkömmlichen Probe (A0919) mit 13 Quantenfilmen in einer Reihe vorgestellt.

5.1.1 Aufbau der Probe


Die Probe wurde mittels MOVPE in einem Aixtron AIX 200/4 Reaktor am Ferdinand- Braun-Instiut für Höchstfrequenztechnik in Berlin gewachsen [39]. Als Substrat wurde ein 2"-GaAs-Wafer mit 2°-AB-Orientierung verwendet. Die Proben bestehen aus einer GaAs-Pufferschicht gefolgt von einer In0,48Ga0,52P-Ätz-Stopp Schicht, einer aktiven Zone und einem binären 25-Perioden-AlAs/GaAs-Bragg-Spiegel, dessen Stoppband auf 980 nm zentriert ist. Die Struktur ist als „Bottom-Emitter“ ausgelegt, weswegen die aktive Zone vor dem Bragg-Spiegel gewachsen wird.

Da das Wachstum von aktiver Schicht und Bragg-Spiegel bei verschiedenen Temperaturen geschieht, muss ein „annealing“ Effekt der Quantenfilme berücksichtigt werden. Durch das längere Aufwärmen der Probe während des Wachstums des Bragg-Spiegels verlagert sich das Emissionsmaximum der Quantenfilme zu kleineren Wellenlängen, was auf Diffusionsprozesse des Indiums innerhalb der Quantenfilme zurückgeführt werden kann. Um dies zu korrigieren, müssen die Quantenfilme zunächst etwas langwelliger als gewünscht ausgelegt werden."
Blick ins Buch
Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis8
Symbolverzeichnis10
Abkürzungen13
Kurzfassung16
Extended Abstract17
1 Einleitung22
1.1 Hintergrund und Zielsetzung22
1.2 Struktur der Arbeit24
2 Stand der Technik25
2.1 Aufbau des Halbleiter-Scheibenlasers25
2.2 Absorption und Verstärkung beim Absorber-Pumpen28
2.3 Einfluss der Temperatur32
3 Möglichkeiten zur Leistungssteigerung34
3.1 Kühlung34
3.2 Wärmeeintrag38
3.2.1 Barrierendesign38
3.2.2 Quantenfilm-Pumpen38
3.2.3 Vor- und Nachteile der Methoden39
4 Grundlagen zum Quantenfilm-Pumpen40
4.1 Mehrere Pumpstrahlungsdurchgänge40
4.2 Absorption beim Quantenfilm-Pumpen41
4.3 Optimierung der Proben47
4.3.1 Resonante Absorption47
4.3.2 Einfluss der numerischen Apertur und der Breite des Pumpspektrums52
4.3.3 Transparenzschwelle59
5 Experimenteller Vergleich Quantenfilm- und Absorber-Pumpen65
5.1 Absorptionsverhalten65
5.1.1 Aufbau der Probe66
5.1.2 Aufbau des Experiments67
5.1.3 Ergebnisse69
5.2 Temperaturverhalten71
5.2.1 Aufbau der Probe71
5.2.2 Aufbau des Experiments72
5.2.3 Laserkennlinie73
5.2.4 Temperaturmessung aus Resonanzlinien75
5.2.5 Ergebnisse78
5.3 Leistungsskalierung80
5.3.1 Messaufbau80
5.3.2 Ergebnisse83
6 Experimente mit optimierter Probe85
6.1 Aufbau der Probe85
6.2 Resonante Absorption86
6.3 Laserkennlinien87
7 Bewertung der Ergebnisse Quantenfilm- / Absorber-Pumpen90
8 Ausblick92
Literaturverzeichnis97
A Anhang102
A.1 Spektroskopie102
A.1.1 Messaufbau für Photolumineszenz- und Reflexionsmessungen102
A.1.2 Einfluss der Resonanzen auf die Spektren104
A.2 Rekonstruktion des Schichtaufbaus107
A.2.1 G-, GRPG - und GCAV -Funktionen der Proben109
A.2.2 Rekonstruktion der intrinsischen Photolumineszenz113
A.3 Direkte Messung der Wärmeerzeugung115
A.3.1 Messaufbau zur Wärmemessung115
A.3.2 Ergebnisse116
Danksagung120

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