Integration passiver Bauelemente in Strukturen der Mikroelektronik durch Inkjetdruck nanoskaliger Partikel

Im aufstrebenden Technologiefeld der Nanotechnik ist einer der Forschungsschwerpunkte die Herstellung nanoskaliger Partikel. Mit der piezoelektrischen Inkjettechnik steht eine Strukturierungs- und…