Aufbau eines Detektorteleskops für ERDA-Messungen und erste Anwendungen auf dünne Schichten
Inhaltsangabe:Problemstellung: In der vorliegenden Arbeit wird der Aufbau einer ERDA-Detektoranlage zur Bestimmung tiefenaufgelöster Konzentrationsprofile dünner Schichten beschrieben. Die Anlage…