Oberflächenanalyse von Si/SiGe-Schichten

Inhaltsangabe:Zusammenfassung: In der vorliegenden Arbeit wurde ein Prozess entwickelt, der es erlaubt, die Versetzungsdichten in Si/SiGe Heterostrukturen zu bestimmen. Dabei wurde im Besonderen Wert…
Neben unseren Zeitschriften informieren Sie sich hier über eBooks.
Werfen Sie einen Blick ins Buch oder stöbern Sie durch Leseproben, schauen Sie sich andere Titel des Autors oder des Verlages an. Neben einer Kurzbeschreibung finden Sie ein Inhaltsverzeichnis und weitere Informationen, wie Autor, Verlag, Erscheinungsjahr und natürlich einen direkten Download