Sie sind hier
E-Book

Beiträge zur Technologieentwicklung für die Erzeugung von Airgap-Strukturen in Metallisierungssystemen in integrierten Schaltkreisen

AutorKnut Schulze
VerlagGRIN Verlag
Erscheinungsjahr2009
Seitenanzahl283 Seiten
ISBN9783640294381
FormatPDF
Kopierschutzkein Kopierschutz
GerätePC/MAC/eReader/Tablet
Preis39,99 EUR
Doktorarbeit / Dissertation aus dem Jahr 2008 im Fachbereich Elektrotechnik, Note: 2, Technische Universität Chemnitz, Sprache: Deutsch, Abstract: Die Arbeit beschreibt die Entwicklung und Evaluierung zweier neuartiger Technologien (Maske und Spacer) zur Erzeugung von Airgap-Strukturen in Mehrebenenmetallisierungen integrierter Schaltkreise. Ausgangspunkt der Arbeit bildet die Aufarbeitung der Thematik der low-k Materialien sowie der aus der Literatur bekannten Airgap-Ansätze. Es werden die beiden entwickelten Konzepte zur Airgap-Erzeugung prinzipiell beschrieben und hinsichtlich der definierten Zielstellungen (konventionelle Prozessierung, Skalierbarkeit, selektiver Eintrag) sowie vergleichend zu alternativen Airgap-Ansätzen diskutiert. Im Fortgang werden Präparationen beider Technologien vorgestellt und deren Machbarkeit nachgewiesen. Die Erprobung und Optimierung einzelner Prozesse werden dokumentiert. Anhand der funktionsbedingten Anforderungen an Materialien und Grenzflächen werden ausgewählte Integrationsaspekte untersucht. Den Schwerpunkt bildet dabei der Einfluss von Fluorwasserstoffsäure auf elektrisch leitfähige und dielektrische Diffusionsbarrieren, Kupfer sowie deren Verbund. Es werden Möglichkeiten gezeigt, unerwünschte Wechselwirkungen zu minimieren und die Zuverlässigkeit der defektfreien Airgap-Erzeugung zu steigern. Die Arbeit beinhaltet zudem die Charakterisierung von Airgap-Strukturen entsprechend beider Ansätze hinsichtlich ihres elektrischen, thermischen und mechanischen Verhaltens für variierte Geometrien und Materialeigenschaften. Es werden FEM Simulationen genutzt, um Messwerte zu verifizieren, Extrapolationen bei variierten Eingabedaten durchzuführen oder nicht messbare Größen zu extrahieren.

Kaufen Sie hier:

Horizontale Tabs

Blick ins Buch

Weitere E-Books zum Thema: Elektronik - Elektrotechnik - Telekommunikation

Logikbausteine

E-Book Logikbausteine
Format: PDF

Aus Sicht der Bausteinarchitekturen werden die grundsätzlichen Einsatzmöglichkeiten feldprogrammierbarer Bausteine beschrieben:- Grundlegende Modelle, Elemente und Programmierverfahren- I/O-…

Logikbausteine

E-Book Logikbausteine
Format: PDF

Aus Sicht der Bausteinarchitekturen werden die grundsätzlichen Einsatzmöglichkeiten feldprogrammierbarer Bausteine beschrieben:- Grundlegende Modelle, Elemente und Programmierverfahren- I/O-…

Mechatronik 1

E-Book Mechatronik 1
Format: PDF

Die Mechatronik vereint Elemente des Maschinenbaus, der Elektrotechnik/Elektronik und der Informatik. Das zweibändige Werk, das sich in erster Linie an Studenten von Fachhochschulen und…

Mechatronik 1

E-Book Mechatronik 1
Format: PDF

Die Mechatronik vereint Elemente des Maschinenbaus, der Elektrotechnik/Elektronik und der Informatik. Das zweibändige Werk, das sich in erster Linie an Studenten von Fachhochschulen und…

Lehr- und Übungsbuch Elektronik

E-Book Lehr- und Übungsbuch Elektronik
Analog- und Digitalelektronik Format: PDF

Das Lehrbuch führt die Studenten im Grundstudium in die Elektroniklehrveranstaltungen Bauelemente, Schaltungs- sowie Analog- und Digitaltechnik ein. Die durchgängige Systematik erleichtert die…

Lehr- und Übungsbuch Elektronik

E-Book Lehr- und Übungsbuch Elektronik
Analog- und Digitalelektronik Format: PDF

Das Lehrbuch führt die Studenten im Grundstudium in die Elektroniklehrveranstaltungen Bauelemente, Schaltungs- sowie Analog- und Digitaltechnik ein. Die durchgängige Systematik erleichtert die…

Weitere Zeitschriften

Berufsstart Gehalt

Berufsstart Gehalt

»Berufsstart Gehalt« erscheint jährlich zum Sommersemester im Mai mit einer Auflage von 50.000 Exemplaren und ermöglicht Unternehmen sich bei Studenten und Absolventen mit einer ...

Berufsstart Bewerbung

Berufsstart Bewerbung

»Berufsstart Bewerbung« erscheint jährlich zum Wintersemester im November mit einer Auflage von 50.000 Exemplaren und ermöglicht Unternehmen sich bei Studenten und Absolventen mit einer ...

Card Forum International

Card Forum International

Card Forum International, Magazine for Card Technologies and Applications, is a leading source for information in the field of card-based payment systems, related technologies, and required reading ...

cards Karten cartes

cards Karten cartes

Die führende Zeitschrift für Zahlungsverkehr und Payments – international und branchenübergreifend, erscheint seit 1990 monatlich (viermal als Fachmagazin, achtmal als ...

SPORT in BW (Württemberg)

SPORT in BW (Württemberg)

SPORT in BW (Württemberg) ist das offizielle Verbandsorgan des Württembergischen Landessportbund e.V. (WLSB) und Informationsmagazin für alle im Sport organisierten Mitglieder in Württemberg. ...

Deutsche Hockey Zeitung

Deutsche Hockey Zeitung

Informiert über das nationale und internationale Hockey. Die Deutsche Hockeyzeitung ist Ihr kompetenter Partner für Ihren Auftritt im Hockeymarkt. Sie ist die einzige bundesweite Hockeyzeitung ...

DULV info

DULV info

UL-Technik, UL-Flugbetrieb, Luftrecht, Reiseberichte, Verbandsinte. Der Deutsche Ultraleichtflugverband e. V. - oder kurz DULV - wurde 1982 von ein paar Enthusiasten gegründet. Wegen der hohen ...