Sie sind hier
E-Book

Untersuchung der elektrischen Eigenschaften von Trench-MOS-Leistungstransistoren

AutorValeri Benkendorf
Verlagdiplom.de
Erscheinungsjahr2003
Seitenanzahl66 Seiten
ISBN9783832469078
FormatPDF
Kopierschutzkein Kopierschutz
GerätePC/MAC/eReader/Tablet
Preis74,00 EUR
Inhaltsangabe:Zusammenfassung: Als das Ziel dieser Diplomarbeit wurde die Untersuchungen der elektrischen Eigenschaften der 40V-MOS-Leitungstransistoren festgelegt, die auf der Basis einer 0,6 µm-Technologie mit vertikalen Gräben (Trenchen) am IMS entwickelt wurden. Insbesondere standen in dem Vordergrund die Ausbeuteprobleme bei dem Gateoxid zu analysieren. Dazu wurden die Varianten des Gateoxidkomplexes, die innerhalb einer Charge durchgeführt wurden, gegenübergestellt und beurteilt. Eins weiteres Hauptziel der Untersuchungen war die auftretenden untypischen Verläufe der Drain-Source-Durchbruchspannung. Hier wurden die möglichen Ursachen des Kennlinie-Verlaufs analysiert und die Verbesserungsmöglichkeiten nachgeprüft. Weiterhin wurden die aktuellen Probleme bei den anderen Transistorparametern vermessen und diskutiert. Im Rahmen der Charakterisierung der elektrischen Eigenschaften der Bauelementen wurden für die technologische Bewertung die wichtigen Parameter, die Schwellspannung Uth, die Drain-Source-Durchbruchspannung Uds(br)), der Gateleckstrom IGL und der Einschaltwiderstand RDS(on) gemessen und ausgewertet. Inhaltsverzeichnis:Inhaltsverzeichnis: Abkürzungen3 1.Einleitung5 2.Theoretische Grundlagen7 2.1Der MOSFET8 2.2Entwicklungsgeschichte der vertikalen Leistungstransistoren9 2.340V-Trench-MOS-Leistungstransistor13 2.3.1Prozess zur Herstellung vertikaler Leistungstransistoren15 2.4Elektrische Eigenschaften von Leistungstransistoren17 2.4.1Einschaltwiderstand RDS(on)17 2.4.2Schwellspannung Uth19 2.4.3Drain-Source-Durchbruchspannung20 2.4.4Gateleckstrom IGL22 3.Messungen an Leistungstransistoren24 3.1Wesentliche Unterschiede zwischen den Transistorstrukturen24 3.1.1Designvariationen25 3.1.2Prozessvarianten28 3.2Messparameter29 3.2.1Messung der Schwellspannung Uth29 3.2.2Messung der Drain-Source-Durchbruchspannung UDS(br)30 3.2.3Messung des Gate-Source-Durchbruchspannung UGS(br)31 3.2.4Messung des Durchlasswiderstand RDS(on)32 3.3Messsysteme33 3.4Versuchsdurchführung mit dem HP-Messgerät37 3.4.1Teil 1:Messung der Trench-Transistoren mit der Oberfläche von 56 mm237 3.4.2Teil 2: Messung der Testinsert-Transistoren38 4.Auswertung39 4.1Untersuchung der Drain-Source-Durchbruchspannung39 4.1.1Untersuchung des Stromanstieges bei dem Drain-Source-Durchbruch39 4.1.2Untersuchung der Schichtdickenvariationen42 4.1.3Untersuchung der Trenchtiefe43 4.1.4Untersuchung der Dicke der Hartmaske43 4.1.5Einfluss der Dicke der [...]

Kaufen Sie hier:

Horizontale Tabs

Blick ins Buch

Weitere E-Books zum Thema: Elektronik - Elektrotechnik - Telekommunikation

Logikbausteine

E-Book Logikbausteine
Format: PDF

Aus Sicht der Bausteinarchitekturen werden die grundsätzlichen Einsatzmöglichkeiten feldprogrammierbarer Bausteine beschrieben:- Grundlegende Modelle, Elemente und Programmierverfahren- I/O-…

Logikbausteine

E-Book Logikbausteine
Format: PDF

Aus Sicht der Bausteinarchitekturen werden die grundsätzlichen Einsatzmöglichkeiten feldprogrammierbarer Bausteine beschrieben:- Grundlegende Modelle, Elemente und Programmierverfahren- I/O-…

Mechatronik 1

E-Book Mechatronik 1
Format: PDF

Die Mechatronik vereint Elemente des Maschinenbaus, der Elektrotechnik/Elektronik und der Informatik. Das zweibändige Werk, das sich in erster Linie an Studenten von Fachhochschulen und…

Mechatronik 1

E-Book Mechatronik 1
Format: PDF

Die Mechatronik vereint Elemente des Maschinenbaus, der Elektrotechnik/Elektronik und der Informatik. Das zweibändige Werk, das sich in erster Linie an Studenten von Fachhochschulen und…

Lehr- und Übungsbuch Elektronik

E-Book Lehr- und Übungsbuch Elektronik
Analog- und Digitalelektronik Format: PDF

Das Lehrbuch führt die Studenten im Grundstudium in die Elektroniklehrveranstaltungen Bauelemente, Schaltungs- sowie Analog- und Digitaltechnik ein. Die durchgängige Systematik erleichtert die…

Lehr- und Übungsbuch Elektronik

E-Book Lehr- und Übungsbuch Elektronik
Analog- und Digitalelektronik Format: PDF

Das Lehrbuch führt die Studenten im Grundstudium in die Elektroniklehrveranstaltungen Bauelemente, Schaltungs- sowie Analog- und Digitaltechnik ein. Die durchgängige Systematik erleichtert die…

Weitere Zeitschriften

ARCH+.

ARCH+.

ARCH+ ist eine unabhängige, konzeptuelle Zeitschrift für Architektur und Urbanismus. Der Name ist zugleich Programm: mehr als Architektur. Jedes vierteljährlich erscheinende Heft beleuchtet ...

caritas

caritas

mitteilungen für die Erzdiözese FreiburgUm Kindern aus armen Familien gute Perspektiven für eine eigenständige Lebensführung zu ermöglichen, muss die Kinderarmut in Deutschland nachhaltig ...

Gastronomie Report

Gastronomie Report

News & Infos für die Gastronomie: Tipps, Trends und Ideen, Produkte aus aller Welt, Innovative Konzepte, Küchentechnik der Zukunft, Service mit Zusatznutzen und vieles mehr. Frech, offensiv, ...

die horen

die horen

Zeitschrift für Literatur, Kunst und Kritik."...weil sie mit großer Aufmerksamkeit die internationale Literatur beobachtet und vorstellt; weil sie in der deutschen Literatur nicht nur das Neueste ...

Die Versicherungspraxis

Die Versicherungspraxis

Behandlung versicherungsrelevanter Themen. Erfahren Sie mehr über den DVS. Der DVS Deutscher Versicherungs-Schutzverband e.V, Bonn, ist der Interessenvertreter der versicherungsnehmenden Wirtschaft. ...

rfe-Elektrohändler

rfe-Elektrohändler

rfe-Elektrohändler ist die Fachzeitschrift für die CE- und Hausgeräte-Branche. Wichtige Themen sind: Aktuelle Entwicklungen in beiden Branchen, Waren- und Verkaufskunde, Reportagen über ...

building & automation

building & automation

Das Fachmagazin building & automation bietet dem Elektrohandwerker und Elektroplaner eine umfassende Übersicht über alle Produktneuheiten aus der Gebäudeautomation, der Installationstechnik, dem ...