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E-Book

Online-Qualitätssicherung beim Bohren mittels ultrakurz gepulster Laserstrahlung

AutorDmitrij Walter
VerlagHerbert Utz Verlag
Erscheinungsjahr2010
Seitenanzahl154 Seiten
ISBN9783831609680
FormatPDF
KopierschutzDRM
GerätePC/MAC/eReader/Tablet
Preis27,99 EUR
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Inhaltsverzeichnis
Inhalt8
Kurzfassung6
Liste der verwendeten Symbole12
Extended Abstract16
1 Einleitung20
1.1 Ausgangslage20
1.2 Motivation und Zielsetzung der Arbeit22
2 Grundlagen abtragender Laserverfahren25
2.1 Materialabtrag mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung25
2.2 Laserinduzierte Plasmen31
2.3 Laserinduzierte Stoßwellen38
2.4 Kapillarausbildung beim Bohren mit ultrakurzen Laserpulsen43
3 Stand der Technik in der Prozessüberwachung52
3.1 Prozessüberwachungsmethoden beim Bohren mit gepulster Laserstrahlung53
3.2 Überwachungsverfahren beim Bohren mit ultrakurzen Laserpulsen55
3.3 Zusammenfassung57
4 Experimentelle Methoden59
4.1 Verwendete Strahlquellen59
4.2 Bildgebende Verfahren zur Charakterisierung der gasdynamischen Stoßwellenausbreitung61
4.3 Zeitaufgelöste Plasmaspektroskopie – Erfassung optischer Prozessemissionen64
4.4 Messung des Ionisationsgrades der Materialdampfwolke67
4.5 Aufnahme des Luft- und Körperschalls68
5 Überwachung des Bohrprozesses durch Auswertung der gasdynamischen Stoßwellenexpansion71
5.1 Ausbreitungsverhalten der Stoßwellen beim Laserbohren71
5.2 Einfluss der Prozessparameter82
5.3 Plasmaein.üsse auf die Stoßwellenausbreitung89
5.4 Zusammenfassung98
6 Prozessüberwachung durch koaxiale Erfassung optischer Prozessemissionen101
6.1 Zeitaufgelöste Spektroskopie am laserinduzierten Plasma101
6.2 Integrale, breitbandige Aufnahme der optischen Prozessemissionen106
6.3 Echtzeit-Überwachung und -regelung des Bohrprozesses116
6.4 Zusammenfassung121
7 Überwachung des Laserbohrens durch Erfassung des Ionisationsgrades der Materialdampfwolke123
7.1 Charakterisierung des Sensorelements123
7.2 Erste experimentelle Untersuchungen125
8 Prozessdiagnostik und -überwachung durch Erfassung akustischer Signale mit piezoelektrischen Aufnehmern127
9 Zusammenfassung und Ausblick131
Literatur– und Quellenverzeichnis136
Danksagung147

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